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方案概述

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备

欧宝官方app下载方案

方案特色

  • 视觉定位

    视觉定位,进行检测偏差,补偿给控制系统
  • 高重合精度

    高精度,高响应定位,控制伺服驱动
  • 高像素相机

    视觉实时测量晶棒生长尺寸
  • 高速处理数据

    高速PLC 承载着整个系统的运算及执行